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首页 > 功能材料 > 红外光学材料硫化锌衬底上沉积金刚石膜的研究

红外光学材料硫化锌衬底上沉积金刚石膜的研究

A study of diamond films depositing on multi-spectra ZnS

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摘要采用微波等离子体化学气相沉积法,在预镀陶瓷过渡层的硫化锌衬底上沉积金刚石膜2在以前的实验中,我们发现在陶瓷过渡层上沉积金刚石膜极其困难,但采用金刚石诱导形核方法后,我们已经在过渡层/硫化锌试样表面获得了很小面积(约1mm宽的环状区域)的金刚石形核.本文对前期的诱导形核工作进行了一定改进,目前已经使形核生长范围大大增加,沉积面积超过原来10倍.此外,本文对金刚石/过渡层/硫化锌试样的红外透过特性以及金刚石膜质量等进行了评价.

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作者 高旭辉 [1] 吕反修 [1] 魏俊俊 [1] 李成明 [1] 陈广超 [1] 余怀之 [2] 学术成果认领
作者单位 北京科技大学,材料学院,北京,100083 [1] 北京有色金属研究总院,国晶辉红外科技有限公司,北京,100088 [2]
关键词 硫化锌(ZnS)金刚石膜陶瓷过渡层诱导形核微波等离子体CVD
分类号 TN213TN304.055
栏目名称
研究与开发
DOI 10.3321/j.issn:1001-9731.2005.09.027
发布时间 2005-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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功能材料

功能材料

2005年36卷9期

1398-1400页

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