换一批摘要针对多通道柔性神经微电极的设计及制作,研究了微电极的加工工艺.采用一种新型的柔性聚合物材料--聚对二甲苯(parylene C)作为微电极的基底和绝缘材料,借助微细加工技术,制作了36通道(按6×6矩阵排列)的柔性神经微电极,微电极的尺寸分别为Φ150 μm(圆形)和150 μm×150 μm(方形),电极引线线宽为30 μm.无论微电极为圆形或方形,表面均平整光滑、轮廓清晰.电学性能测试结果表明,1 kHz时微电极的阻抗仅为7 kΩ左右,且随着频率的增加,阻抗逐渐降低,呈明显高通特性.微电极加工质量较好,电学性能优良,实现了微电极和柔性基底的集成,有利于高效率批量制作,为视觉假体中柔性神经接口的研制奠定了基础.
更多相关知识
栏目名称
DOI
10.3321/j.issn:1004-924X.2009.10.018
发布时间
2009-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
基金项目
国家重点基础研究发展计划（973计划）（2005CB724305, 2005CB724302）
中国博士后科学基金（20070410724）
国家国际科技合作专项基金（8160706000）
上海市科委纳米专项（0852nm017000）
- 浏览6
- 被引9
- 下载1
相似文献
- 中文期刊
- 外文期刊
- 学位论文
- 会议论文
