换一批摘要针对声表面波(SAW)传感器对品质因数、寿命和成本的要求,研制了Parylene增强型SAW传感器.根据金属剥离工艺要求,利用LOR剥离胶和AZ5214光刻胶双层胶旋涂工艺制作了梯形结构;在传统光学光刻条件下制作了2 μm的超细叉指电极.传感器制作过程利用了MEMS工艺,不仅实现了传感器的微型化,还可以批量化生产,得到的以石英为基底的传感器谐振频率达到249.077 953MHz.最后在传感器的表面镀制Parylene聚合物薄膜以提高基底温度灵敏度.实验对比了未增强型(未镀Parylene)和增强型SAW传感器(镀Parylene)的温度灵敏度.结果显示:未增强型SAW传感器温度灵敏度为2.048 kHz/℃,Parylene增强型SAW传感器温度灵敏度为2.855 kHz/℃,比前者提高了0.807 kHz/℃,且镀Parylene之后谐振频率变化量与温度具有较好的线性度,线性相关系数达到0.996 15.实验证明,Parlene增强型SAW传感器的性能优于未增强的SAW传感器.
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关键词
声表面波(SAW)传感器倒梯形结构金属剥离Parylene增强温度Surface Acoustic Wave(SAW) sensortrapezoidal structuremetal strippingparylene enhancementtemperature
分类号
TP212.16
栏目名称
DOI
10.3788/OPE.20172512.3048
发布时间
2018-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
基金项目
国家高技术研究发展计划（863计划）（No.2015AA042603）
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