换一批摘要利用椭偏光谱术与XRD对钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜中钛元素对体系的光学性质及其微结构的影响进行了实验研究.进而对该薄膜进行变温阻抗实验表明,钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜与未掺杂的薄膜相比具有更好的热稳定性.基于对薄膜样品的数据保持能力测试的实验数据,经阿伦纽斯外推处理可知,钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜样品的10年数据保持温度要高于未掺杂Ge2 Sb2Te5薄膜样品.本文的实验结果均证实,钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜更适合应用于相变随机存取存储器中.
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关键词
钛掺杂Ge2Sb2Te5薄膜相变特性热稳定性数据保持能力Ti-doped Ge2Sb2Te5 filmsphase-change behaviorthermal stabilitydata retention performance
分类号
O484
DOI
10.11972/j.issn.1001-9014.2015.06.004
发布时间
2016-03-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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