换一批摘要由于紫外光对硅层的透射深度小于2nm,所以传统的光电探测器件并不响应紫外光.为了增强传统的光电探测器件在紫外波段的探测能力,实用的方法是在传感器光敏面镀上"紫外-可见"变频薄膜,将紫外光转化为可见光.实验用"旋涂法"在石英基底上生成Zn2SiO4:Mn紫外探测薄膜,并对其透射光谱、吸收光谱、激发光谱与发射光谱等光学性质进行测量分析.实验测得薄膜在300nm以下透过率极低,在300nm以上透过率很高且平稳;对300nm以下的光具有很强的吸收,对300nm以上的光吸收很弱且很平稳;激发峰在265nm,发射峰在525nm,即能将紫外光转化为可见光.实验结果表明薄膜不仅能将紫外光转化为可见光,实现传统光电探测器件的紫外探测.而且在增强紫外响应的同时不削减其他波段的响应,是一种适用于增强光电图像传感器紫外响应的紫外增强薄膜.
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