摘要为了提高大行程传动系统的分辨率,将高精度滚珠丝杠与压电陶瓷驱动铰链结构串联在一起构成串联式传动系统,用高精度滚珠丝杠来完成大行程位移,用压电陶瓷驱动铰链完成微小位移.这种串联式传动系统最终得到了 0.29μ m/100mm的定位精度, 0.03μ m的位移灵敏度.
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摘要为了提高大行程传动系统的分辨率,将高精度滚珠丝杠与压电陶瓷驱动铰链结构串联在一起构成串联式传动系统,用高精度滚珠丝杠来完成大行程位移,用压电陶瓷驱动铰链完成微小位移.这种串联式传动系统最终得到了 0.29μ m/100mm的定位精度, 0.03μ m的位移灵敏度.
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