换一批
换一批摘要研究了农药浓度的光波导传感制备工艺,采用磁控溅射技术,在石英基板上制备康宁1737玻璃波导的工艺;同时,分析了成膜条件以及控制膜厚的因素.实验结果表明,溅射功率和靶基距是影响溅射沉积速率的关键因素, 采用射频功率为100～200W、靶基距为4～6cm,衬底温度为20～25℃、真空度为0.38Pa、溅射时间为2～4h的工艺条件可以获得较快的沉积速率并形成良好的单膜波导,可为农药浓度的检测提供一种新的方法.
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