换一批
换一批摘要在神经假体系统中,神经微电极是实现信号检测以及激励任务的重要组成部分.然而,神经微电极由于尺寸微小,往往具有很高的电极/组织界面阻抗.本文提出了一种在电极位点表面处集成纳米结构来增大电极有效表面积的方法.这种方法结合了光刻、局部氧化铝以及电子束蒸发等技术,在薄膜微电极的表面集成了纳米金柱结构.最后,本文测试和评价了此微电极的表面形貌以及电学性能.实验结果表明,这种集成有纳米金柱结构的微电极其界面阻抗降低了约25倍,促进了这种微电极在神经工程领域的广泛应用.
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栏目名称
精密加工
DOI
10.3969/j.issn.1672-6030.2009.06.014
发布时间
2010-02-23
基金项目
国家重点基础研究发展规划(973计划)
上海市自然科学基金
中国科学院上海微系统所青年科技创新基金
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