换一批
换一批摘要采用聚对二甲苯(Parylene C)作为结构材料,借助微细加工技术设计并制作了按6×6矩阵排布的柔性凸起微电极阵列.微电极直径为80μm,引线线宽40μm,电极间距为280 μm,引线间距为80 μm.电极位点高度约为10μm,呈明显的圆滑凸起结构特征.电极和引线表面均平整光滑,轮廓清晰,结构完好.阻抗测试结果表明:随着频率的增加,凸起微电极的阻抗呈下降趋势,显示出明显的高通特性;1 kHz时凸起微电极的阻抗约为10 kΩ,较具有相同基底面积的平面电极约低30%,有助于提高电极的信噪比,可望用于视网膜前假体中.柔性凸起微电极制作工艺简单,利于高效率批量制作并提高微电极的集成度.
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关键词
视觉修复视网膜假体神经刺激柔性微电极微细加工visual restorationretinal prosthesisneural stimulationflexible microelectrodemicrofabrication
栏目名称
微机电系统
DOI
10.3969/j.issn.1672-6030.2010.01.006
发布时间
2010-05-26
基金项目
科技部科研项目
教育部人文社会科学规划项目
上海市纳米科技专项基金
上海市科委国际合作专项
科技部国际合作项目
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