摘要在500℃石英玻璃管基质上,化学气相沉积法制备Sb搀杂氧化锡SnO2膜,并应用于实验室精馏塔柱.研究了元素搀杂量、镀膜温度和退火处理对电阻及电阻温度特性的影响.应用实验结果表明,SnO2膜透明度好、热效率高,可完全满足塔柱保温要求,还可以观察塔柱内气液流动状况.
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摘要在500℃石英玻璃管基质上,化学气相沉积法制备Sb搀杂氧化锡SnO2膜,并应用于实验室精馏塔柱.研究了元素搀杂量、镀膜温度和退火处理对电阻及电阻温度特性的影响.应用实验结果表明,SnO2膜透明度好、热效率高,可完全满足塔柱保温要求,还可以观察塔柱内气液流动状况.
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