换一批基于双频激光干涉仪大载荷纳米微动台的研制
Design of Large Load Nano-positioning System Based on Dual-frequency Laser Interferometer
摘要在超精密加工制造等领域,为了满足大质量工件的超精密进给定位应用需求,设计并研制了一种大载荷应用情况下的纳米级精密定位平台.该纳米微动承载台采用双闭式气浮导轨,由压电陶瓷致动器结合柔性铰链提供驱动,通过双频激光干涉仪实时监测终端承载台位移并实现闭环反馈控制,有效地克服了压电陶瓷致动器的非线性和迟滞效应,并消除了系统由于刚度不足而产生的不确定性干扰.在传统纯柔性铰链传动机构上增设了双气浮导轨承载台,增强了系统的载荷能力,气浮均化效应也提高了系统进给运行的直线性,双频激光干涉仪取代电容式或电阻式位移传感器的应用,从理论上扩展了行程,保证了平台进给的定位精度和长期稳定性.实验结果表明,在载荷为100 kg情况下,定位精度达±2 nm,行程大于10μm.
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关键词
压电陶瓷纳米定位气浮导轨激光干涉仪piezoelectric actuatornano-positioningair-lubricated guide raillaser interferometer
分类号
TP273+.5
栏目名称
DOI
10.3969/j.issn.1006-7167.2014.12.014
发布时间
2015-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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