柔性神经微电极阵列设计及微加工工艺研究

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摘要采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础.

作者吴义伯 ^[1] 邢玉梅 ^[1] 倪鹤南 ^[1] 徐爱兰 ^[1] 惠春 ^[2] 任秋实 ^[2] 李刚 ^[3] 学术成果认领

作者单位上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030 ^[1] 上海交通大学,生命科学技术学院,上海,200030 ^[2] 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,生物芯片实验室,上海,200050 ^[3]

分类号 TN305

栏目名称 微机械加工技术

发布时间 2008-10-21

基金项目

国家重点基础研究发展计划(973计划) 中国博士后科学基金

微细加工技术

43-47页

参考文献：
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