换一批摘要为了实现车间球面镜片的半径偏差的在线无损检测,基于激光检测技术,提出了一种无需精密导轨的小型球面干涉仪系统的设计方案,并对整个系统的检测原理进行了分析.通过Zemax软件模拟的分析验证,该系统不仅可以测出球面面形的像散偏差和局部偏差,而且还可以快速测出球面镜的半径偏差,其演算测得的曲率半径精度优于0.01％.与目前已有的球面干 涉仪相比较,具有系统结构紧凑、无精密导轨、操作效率高和低成本的特点,特别适用于车间的在线非接触检测.
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