换一批摘要为了实现在线自动化检测球面光学镜片的面形偏差,在已有的光学检测系统基础上,对光学检测系统采集的干涉图样进行图像处理和波面拟合算法研究.首先对干涉图样预处理,再根据球面光学镜片大多是圆形孔径,对预处理后的干涉条纹通过最小二乘法拟合出干涉图样的圆边界,确定数据取值边界点的中心和半径值;然后采用Multi-quadric函数插值法拟合出波面的面形轮廓,计算波面的峰谷偏差EPV值及均方根偏差ERMS值;最后用上述方法对Zygo干涉仪采集的干涉图的处理结果与Zygo干涉仪测试结果进行比较分析.结果表明:通过边界处理可有效提高波面拟合精度,采用multi-quadric函数插值法拟合可以理想的还原出波面,且测量误差与国标相比能够控制在0.2λ的误差范围内,与Zygo干涉仪检测结果相比可以控制在0.03λ误差范围内,都能够满足球面光学镜片在线检测的精度要求.
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关键词
图像处理面形检测边界处理Multi-quadric函数插值image processingoptical surface testingboundary processingmulti-quadric function interpolation
栏目名称
DOI
10.5768/JAO201536.0403002
发布时间
2015-09-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
基金项目
国家自然科学基金（61275216）
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