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首页 > 中国激光 > 衬底温度对ZnO薄膜晶体结构和迁移率的影响

衬底温度对ZnO薄膜晶体结构和迁移率的影响

Effect of Substrate Temperature on the Structure of Crystallization and Transfer Rate of ZnO Thin Film

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摘要衬底温度是影响ZnO薄膜特性的重要因素,可以在很大程度上改变薄膜的结晶结构,温度高低直接影响衬底表面吸附原子的表面迁移率,再蒸发和结晶情况.在室温下测量了不同温度生长的ZnO薄膜的X射线衍射(XRD)曲线,探讨了最佳结晶质量所需的衬底温度.另外,从迁移率随温度的变化曲线上也得到同样的结果.

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作者 潘志峰 [1] 袁一方 [2] 孔繁之 [3] 学术成果认领
作者单位 上海理工大学光电学院,上海,200093济宁医学院物理教研室,山东,济宁,272013 [1] 上海理工大学光电学院,上海,200093 [2] 济宁医学院物理教研室,山东,济宁,272013 [3]
关键词 ZnO薄膜晶体结构迁移率
分类号 O484.4
栏目名称
光束传输与控制,材料、薄膜及元器件
DOI 10.3321/j.issn:0258-7025.2004.z1.154
发布时间 2004-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
基金项目
山东省教育厅项目（03C08）
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中国激光

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2004年31卷z1期

462-464页

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