摘要在溅射沉积的钨薄膜中加入氧以降低薄膜的残余应力,进一步添加含量高达14.3%(摩尔分数)的银以进行抗菌功能化.采用SEM-EDX、XPS和XRD分析薄膜.薄膜仅检测到β-W或W3O相的X射线衍射峰.氧和银主要以固溶原子的形式存在于薄膜中.银的加入降低了薄膜的硬度(仍然≥10.3 GPa)和弹性模量.动电位极化实验表明WO膜的腐蚀电流密度低于钨膜,而银改变了膜层的腐蚀行为.薄膜表面的贫银氧化钨层抑制了银离子在水中的释放,WOAg膜对大肠杆菌具有良好的抗菌活性.WOAg薄膜将在环境和其他抗菌应用中发挥作用.
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