换一批
换一批反应磁控溅射制备Ag/TiO2复合薄膜及其银离子释放速率研究
Synthesis of Ag/TiO2 Composite Coatings by Reactive Magnetron Sputtering and Ag-Ion Release Rate
摘要采用反应磁控溅射法制备Ag/TiO2复合薄膜,利用X射线衍射、扫描电镜、透射电镜、X射线光电能谱和原子吸收光谱分析了不同实验参数对复合薄膜形貌和银离子溶解释放规律.研究结果表明随着氧气流量的加大,银纳米颗粒在薄膜体相和表面的团聚和不规则分布增加;表面缓冲层对银纳米颗粒的表面偏析现象和银离子释放速率的抑制作用有限;复合薄膜中银元素的含量则对薄膜形貌和银离子释放速率有较大影响,银含量越少,银离子释放速率越慢.综合性能分析认为在复合薄膜中银含量为9％时,银纳米颗粒在薄膜内的粒径分布较为均匀,银离子释放速率也最为缓慢.
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关键词
反应磁控溅射Ag/TiO2复合薄膜氧气流量银离子释放速率Reactive magnetron sputteringAg/TiO2 composite thin filmOxygen flow rateSilver ion release rate
分类号
TB333
栏目名称
功能薄膜
DOI
10.13922/j.cnki.cjovst.2017.08.15
发布时间
2017-09-28
基金项目
湖南省自然科学基金项目
水力机械过渡过程教育部重点实验室开放基金资助
湖北工业大学博士启动基金项目
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