换一批
换一批摘要该文针对目前辐射剂量计存在灵敏度低和空间分辨率差或易受辐射损伤、寿命短等缺点,研究一种新型的金刚石膜辐射剂量计,对放射医学及仪器、空间辐射、反应堆和加速器辐射场等众多科技领域的研究具有重要意义和广阔的应用前景.该研究中,采用石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积装置系统研究了高纯、高度取向金刚石薄膜的制备工艺及其电学性能,并对提出的一种新的金刚石膜沉积后处理方法——原位氧等离子体刻蚀处理技术进行了实验研究.首次提出使用简便的原位氧等离子体刻蚀法对沉积出的金刚石薄膜进行后处理,微观分析和电学测量结果表明该工艺技术可以在不明显降低薄膜厚度的情况下,极大地提高薄膜的电阻率(最大达4个数量级,从~10<'9>→~10<'13>Ω·cm),有利于减低金刚石膜剂量计的漏电流,提高器件的信噪比.使用金刚石薄膜剂量计器件研究了膜层材料的组成和结构对材料电学性能及器件性能的影响.通过分别在p型Si基体和n型Si基体上沉积同样的金刚石薄膜,并检测它们的I-V曲线特性,所得结果分析表明:所制备的未经掺杂的金刚石薄膜是p型半导体,主要靠空穴导电.
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