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等离子浸没注入和多弧离子镀对纯钛及钛合金表面改性的基础研究

摘要通过等离子浸没注入和多弧离子镀对纯钛及钛合金试样进行表面改性,从而提高试样的显微硬度、耐磨性能及耐腐蚀性能,利用等离子浸没注入的方法对纯钛及钛合金表面进行氮离子注入,用X射线衍射和X射线光电子能谱对注入层进行成分分析,通过显微硬度计及耐磨实验来评价改性后试样的耐磨性能;通过电化学腐蚀实验和测定改性后试样在人工唾液中Ti离子的释放速率来评价其耐腐蚀性能.采用多弧离子镀的工艺在等离子浸没注入改性试样上沉积一层氮化钛涂层(薄膜),用X射线衍射分析和X射线光电子能谱对所形成的氮化钛涂层进行表面成分的分析;用划痕实验来测量涂层与基体的结合力大小;通过显微硬度计及耐磨实验来评价改性后试样的耐磨性能:通过电化学腐蚀实验和测定改性后试样在人工唾液中Ti离子的释放速率来评价其耐腐蚀性能.氮等离子浸没注入及多弧离子镀可以提高纯钛及钛合金试样的耐磨性能及耐腐蚀性能,由于离子注入所形成的改性层太薄,可用多弧离子镀在注入后的试样表面沉积一层氮化钛涂层,从而大幅度提高纯钛及钛合金的耐磨性能及耐腐蚀性能.

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