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【成果】 0900860429 上海 TN304.92 应用技术 电子元件制造 2009年
【成果简介】 该发明涉及一种对硫化氢气体敏感的半导体传感器气敏元件制造方法，属半导体传感器气敏元件制造工艺技术领域。该制造方法的特征在于，采用厚膜工艺在氧化铝衬底上制备二氧化锡层，再在二氧化锡层表面制备氧化铜层，形成氧化铜/二氧化锡复合膜的气敏元件。该发...
【成果】 0700130062 黑龙江 TP212.1 应用技术 电子器件制造 2006年
【成果简介】 该产品是基于气流流过传感元件的热传输工作原理，测量时作为热源的加热器放置在管道中间，使被测气体的温度升高。两测温电阻阻值变化后不等，使电桥输出的电压信号与被测介质的气体流量成比例关系。特点：该流量传感器专用芯片是一种硅微桥式结构的测量气体流...
【成果】 0900860426 上海 TN304.92 应用技术 电子元件制造 2009年
【成果简介】 该发明提供了一种检测二氧化氮的半导体传感器气敏元件的制造方法，其特征在于，采用超声喷雾热解法在已加工好金电极和氧化钌电阻加热层的石英衬底上制备铟锡氧化物薄膜，而制成的二氧化氮气体传感器气敏元件；超声喷雾热解法是将石英衬底置于管式炉内，利用超...
【关键词】 半导体传感器气敏元件 ； 制造方法 ； 铟锡氧化物薄膜 ；
【成果】 0900330106 河南 TN304.92 TP212.9 应用技术 电子器件制造 2009年
【成果简介】 该研究利用X射线衍射、透射电镜、扫描电镜、红外光谱、元素分析、气敏性能测试等手段，系统研究了配位沉淀法、溶胶-凝胶法、水热法和溶解-热解法制备Cd、Sn、W等的氧化物、掺杂氧化物及其复合氧化物等纳米半导体气敏材料在气体传感器中的性能。该项研...
【成果】 1600130002 上海 TN304.92 TN303 TP212.15 应用技术 工程和技术研究与试验发展 2015年
【成果简介】 面对日益严重的空气污染、严峻的安全现状以及智能产业的迅猛发展，位居信息技术核心位置的气体传感器及其相关产业获得了难得的发展机遇。同时也对气体传感器提出了更高的要求，不仅要求气体传感器要有高的灵敏度和快速的响应恢复，也要求其具有高的稳定性和选...
【成果】 0101350017 福建 TP212 TQ174.758.11 应用技术 通用仪器仪表制造 陶瓷制品制造 1998年
【成果简介】 半导体气敏传感器是通过半导体气敏材料跟被测气体接触时其电阻发生改变，从而检测被测气体的种类和浓度。传统的气敏元件多采用SnO<,2>和ZnO为基体材料，并需掺入贵金属提高其灵敏度，但寿命短。该研究着重探索α-Fe<,2>O<,3>基掺杂气敏...
【成果】 0600090030 河南 TN304.05 TP212 TQ426.6 应用技术 通用仪器仪表制造 2005年
【成果简介】 该项目属河南省自然科学基础研究项目。该研究采用浸渍法、化学共沉淀法、化学共水解法及固相反应法在气教材料或催化剂栽体中掺入了贵金属、稀土金属及其它金属催化剂，利用这些催化剂对某种或某类气体的催化或活化性质。提高了半导体气敏材料对某种或某类气体...
【成果】 93218215 陕西 TP212 应用技术 通用仪器仪表制造
【成果简介】 半导体陶瓷气敏传感器的工作原理是利用被探测的气体和氧化物半导体表面发生的吸附脱附效应，改变表面势垒的高度，引起元件电阻的变化，从而探知被测气体的种类和浓度。其中酒敏传感器主要用于：①检测乙醇浓度，在食品工业中控制发酵情况；②作为补偿元件与家...
【成果】 2200020430 重庆 TP212.1 应用技术 通用仪器仪表制造 2021年
【成果简介】 该成果在原子与电子结构层面，建立了气体分子-氧化物界面之间的气敏反应模型，提出了“非氧吸附”气敏机制，建立了金属氧化物气敏性能指标与电子信息计算结果的关联规律。基于此理论，研发出各种新型半导体气敏材料及传感模式，突破了低浓度痕量检测，多干扰...
【成果】 0401380917 黑龙江 TP212.2 TN389 应用技术 通用仪器仪表制造 2003年
【成果简介】 该项目产品是在半导体烧结型气敏元件工艺的基础上，采用了新的基体材料合成技术、溶液掺杂技术、选择性过滤膜的制造技术，大大提高了元件的稳定性、一致性、线性，以及对环境湿度、烟雾、酒精等气氛的抗干扰能力，从而使应用该元件的整机性能更为稳定可靠。该...
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