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【中文期刊】 倪青山 王正志 等 《生物信息学》 2004年2卷3期 27-30页ISTIC
【摘要】 掩模板在高密度基因芯片的探针合成过程中起着重要的作用,由于其制造工艺复杂、造价较高,因此在不改变探针合成结果的条件下,需要尽可能的减少基因芯片探针合成过程中所用的掩模板数量.提出了一种新的预测搜索算法,对掩模板进行了优化设计,对设计结果的测...
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【中文期刊】 伊福廷 缪鹏 等 《半导体学报》 2004年25卷1期 26-29页
【摘要】 提出了一种解决大高宽比SU8结构的新方法.该方法是将SU8胶涂在一块掩模上,紫外光从掩模的背面照射,这样SU8胶的曝光将从底部开始,不需要进行过曝光来保证底部胶的曝光剂量,从而很容易控制曝光剂量和SU8胶结构的内应力.实验结果表明,该方法能...
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