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【中文期刊】 吕启蒙 吴光敏 等 《压电与声光》 2013年35卷5期 686-689,693页
【摘要】 基于微机电系统(MEMS)技术的薄膜体声波谐振器(FBAR)在无线通讯领域取得了巨大的成功后,由于其具备厚度薄,体积小,与IC兼容及谐振频率和灵敏度都远高于传统的微质量传感器(如石英晶体微天平)等优势,逐渐在微生物分子检测方面崭露头角.由于...
【关键词】 薄膜体声波谐振器(FBAR);微机电系统(MEMS);微流体;
- 概要:
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【中文期刊】 陈剑鸣 吕启蒙 等 《光学精密工程》 2013年21卷9期 2272-2278页
【摘要】 针对毒品探测的需求,对高灵敏度、高选择性及可工作于液相环境中的传感器进行了研究,利用分子印迹技术(MIT),结合薄膜体声波谐振器(FBAR)和微流体(micro fluidics)技术构造了新型传感器.首先,阐述了用分子印迹技术制作FBAR...
- 概要:
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【中文期刊】 王小丽 庞义全 等 《生物化学与生物物理进展》 2022年49卷9期 1719-1730页SCIISTICPKUCSCDCABP
【摘要】 针对大力发展灵敏准确、实时快速及不受场地环境限制的床旁(POC)凝血检测需求,本文基于凝血过程主要物理化学变化及相应参数变化,对声波传感器在凝血检测中的传感分析原理及模型进行了分析总结.凝血过程是内源性或者外源性的激活剂激活凝血因子引发的一...
- 概要:
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【中文期刊】 倪鹤南 侯安州 等 《压电与声光》 2009年31卷2期 149-151页
【摘要】 采用改进的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法,在Si基Pt电极上沉积了PZT压电薄膜,并研制了以SiO2为声反射层的体声波谐振器.用X-射线衍射、电镜扫描及原子力显微镜测试表明,PZT薄膜具有(110)择优取向,良好的短柱状自行晶结构及平滑的表...
【关键词】 溶胶-凝胶(Sol-Gel);薄膜体声波谐振器;纳米晶PZT薄膜;
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【学位论文】 作者:张智欣导师:庞慰 段学欣 天津大学 仪器科学与技术 仪器科学与技术(博士) 2016年
【摘要】 细胞药物导入是现代药剂学中关于新制剂和新剂型的重要研究方法,通过将药物导入细胞内部,并观察其对细胞活性、形态等的影响,从而测定药物毒性等性质。细胞药物导入技术在透皮给药、靶向给药等研究领域有重要应用。本文首次将薄膜体声波谐振器应用于药物导入...
- 概要:
- 方法:
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【中文期刊】 杨增涛 王华 等 《传感器与微系统》 2013年32卷4期 116-118页
【摘要】 为克服平面微机械结构无法释放残余应力、刚度小、跨度小,平面牺牲层工艺成拱出现非光滑台阶状边缘而造成器件失效或能量泄漏的缺点,改进现有成拱工艺在器件尺寸、结构稳定性及可靠性等方面的不足,提出一种用选择性化学机械抛光技术制作微拱形结构的方法.该...
- 概要:
- 方法:
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【成果】 1100200194 湖北 TN713 TN705 应用技术 电子器件制造 通信设备制造 2010年
【成果简介】 无线终端的多功能化对高频器件提出了微型化、低功耗、高性能的要求。传统的介质陶瓷滤波器体积大且无法与RFIC集成,表声波滤波器则受光刻工艺的限制且难以承受高功率。薄膜体声波谐振器(FBAR)作为唯一可以与RFIC和MMIC集成的体声波滤波器方...