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【外文期刊】 Kyle, Daniel J. T. ; Oikonomou, Antonios ; 等 《Bioinspiration & biomimetics》 2016年11卷4期
【关键词】 biomimetics; fractal micro and nanotopography; implant biocompatibility;
【外文期刊】 Melissa J,Goodwin ; Cornelis A M,Harteveld ; 等 《Nanotechnology》 2023年34卷22期 SCIMEDLINE
【关键词】 photonic crystals; reactive ion etching; silicon nanophotonics;
【外文期刊】 Houxun,Miao ; Lei,Chen ; 等 《Journal of microelectromechanical systems : a joint IEEE and ASME publication on microstructures, microactuators, microsensors, and microsystems》 2016年25卷5期 963-967页 SCIMEDLINE
【关键词】 Cryogenic silicon etching; deep reactive ion etching; high aspect ratio silicon grating;
【外文期刊】 Kuo,Zhong ; Jiaqi,Li ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2016年8卷16期 10451-8页 SCIMEDLINECA
【外文期刊】 Mariusz,Radtke ; Richard,Nelz ; 等 《Micromachines》 2019年10卷11期
【关键词】 HSQ; electron beam lithography; inductively coupled-reactive ion etching (ICP-RIE);
【外文期刊】 Nguyen,Van Toan ; Masaya,Toda ; 等 《Micromachines》 2016年7卷3期
【关键词】 glass micromachining; glass reflow process; reactive ion etching;
【外文期刊】 Seunghwan,Lee ; Hye-Mi,Kim ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2021年13卷50期 60144-60153页 SCIMEDLINECA
【外文期刊】 Jingjing,Zhang ; Lihui,Yu ; 等 《Nanotechnology》 SCIMEDLINE
【关键词】 Partial sacrificing; Reactive ion etching; Si grasses;
【外文期刊】 Mark D,Huntington ; Clifford J,Engel ; 等 《Angewandte Chemie (International ed. in English)》 2014年53卷31期 8117-21页 SCIMEDLINECA
【关键词】 materials science; nanofolds; nanowrinkles;
【外文期刊】 Vera,Abramova ; Alexander S,Slesarev ; 等 《Nano letters》 2015年15卷5期 2933-7页 SCIMEDLINECA
【关键词】 meniscus-mask lithography; nanowires; reactive ion etching;
【外文期刊】 A,Nardi ; M,Turchetti ; 等 《Nanotechnology》 2021年32卷31期 SCIMEDLINE
【外文期刊】 Kai-Hung,Yang ; Alexander K,Nguyen ; 等 《Interface focus》 2018年8卷3期 20170063页 SCIMEDLINEBP
【关键词】 biocompatibility; nanoporous membrane; reactive ion etching;
【外文期刊】 Khashayar,Modaresifar ; Mahya,Ganjian ; 等 《Small (Weinheim an der Bergstrasse, Germany)》 2021年17卷24期 e2100706页 SCIMEDLINECA
【关键词】 antibacterial effects; cell morphology; focal adhesions;
【外文期刊】 Gediminas,Seniutinas ; Lorenzo,Rosa ; 等 《Beilstein journal of nanotechnology》 2013年4卷 534-41页
【关键词】 extraordinary transmission; near field; optical tweezing;
【外文期刊】 Young Hun,Kang ; Jae Hyung,Han ; 等 《Nano convergence》 2014年1卷1期 19页
【关键词】 Anodic aluminum oxide template; Antireflective films; Moth-eye;
【外文期刊】 Wanyu,Shang ; Guang Qin,Gu ; 等 《ACS nano》 2017年11卷9期 8796-8803页 SCIMEDLINECA
【关键词】 chemical group grated structure; nylon film; reactive ion etching;
【外文期刊】 Xin,Chen ; Markus,Mohr ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2021年14卷16期 SCIMEDLINE
【关键词】 contact resistance; hot-filament CVD; nanocrystalline diamond;
【外文期刊】 Geun-Su,Choi ; Shin-Woo,Kang ; 等 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2022年12卷9期
【关键词】 external light extraction; nanoparticle; organic light-emitting diodes;
【外文期刊】 Daniel,Headland ; Shruti,Nirantar ; 等 《Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)》 2015年27卷44期 7137-44页 SCIMEDLINECA
【关键词】 artificial magnetic conductors; dielectric resonator antennas; dielectrics;
【外文期刊】 Nguyen Hoang,Tung ; Heesoo,Lee ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2024年24卷10期 SCIMEDLINE
【关键词】 Si3N4; SiO2; reaction surface;
【外文期刊】 Yurong,Wang ; Leimeng,Sun ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2020年12卷39期 43864-43875页 SCIMEDLINECA
【关键词】 AC filter; all-solid-state; deep reactive ion etching;
【外文期刊】 Geun-Su,Choi ; Eun-Jeong,Bae ; 等 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2023年13卷15期
【关键词】 dielectric/metal/dielectric; external light extraction; organic light-emitting diodes;
【外文期刊】 Eivind,Bardalen ; Angelos,Bouchouri ; 等 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2023年14卷1期
【关键词】 anti-reflection; black silicon; infrared imaging;
【外文期刊】 Mohd Haris Md,Khir ; Peng,Qu ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2011年11卷8期 7892-907页 SCIMEDLINE
【关键词】 CMOS-MEMS; deep reactive ion etching (DRIE); piezoresistive;
【外文期刊】 Xiang,Wu ; Bin,Fan ; 等 《Polymers》 2023年15卷10期 SCIMEDLINECA
【关键词】 additional electrode; material removal distribution; polyimide membrane;
【外文期刊】 Ajit K,Katiyar ; S,Mukherjee ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2015年7卷42期 23445-53页 SCIMEDLINECA
【关键词】 CdS/Si heterojunction; black Si; inductively coupled plasma?reactive ion etching;
【外文期刊】 Konstantins,Jefimovs ; Joan,Vila-Comamala ; 等 《Micromachines》 2021年12卷5期
【关键词】 Bosch process; X-ray interferometry; deep reactive ion etching;
【外文期刊】 Wei,Zhang ; Wenhao,Li ; 等 《Nanophotonics (Berlin, Germany)》 2022年11卷21期 4649-4657页
【关键词】 large size grating; polarization independent; scanned reactive-ion-beam etching;
【外文期刊】 Namwuk,Baek ; Yoonsoo,Park ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2023年16卷13期 SCIMEDLINE
【关键词】 intermetal dielectric; low dielectric material; plasma-enhanced chemical-vapor deposition;