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【中文期刊】 闫小兵 史守山 等 《河北大学学报(自然科学版)》 2015年35卷3期 243-246,252页
【摘要】 采用射频(RF)磁控溅射沉积方法,在室温不同压强下在石英玻璃衬底上制备出高透光率与较好电学性质的透明氧化物半导体InGaZnO4(IGZO)薄膜,并对薄膜进行X线衍射(XRD)、生长速率、电阻率和透光率的测试与表征.结果表明,实验所获样品I...
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