- 最近
- 已收藏
- 排序
- 筛选
- 12
- 7
- 2
- 2
- 1
- 1
- 中文期刊
- 刊名
- 作者
- 作者单位
- 收录源
- 栏目名称
- 语种
- 主题词
- 外文期刊
- 文献类型
- 刊名
- 作者
- 主题词
- 收录源
- 语种
- 学位论文
- 授予学位
- 授予单位
- 会议论文
- 主办单位
- 专 利
- 专利分类
- 专利类型
- 国家/组织
- 法律状态
- 申请/专利权人
- 发明/设计人
- 成 果
- 鉴定年份
- 学科分类
- 地域
- 完成单位
- 标 准
- 强制性标准
- 中标分类
- 标准类型
- 标准状态
- 来源数据库
- 法 规
- 法规分类
- 内容分类
- 效力级别
- 时效性
【外文期刊】 Dorian,Coffineau ; Nicolas,Gariépy ; 等 《Nanotechnology》 2024年35卷42期 SCIMEDLINE
【关键词】 BEOL compatible; Hf0.5Zr0.5O2; damascene;
【外文期刊】 Mattia,Halter ; Laura,Bégon-Lours ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2020年12卷15期 17725-17732页 SCIMEDLINECA
【关键词】 BEOL; ferroelectric field-effect transistor; ferroelectric switching;
【外文期刊】 Du-Yeong,Lee ; Seung-Eun,Lee ; 等 《Nanoscale research letters》 2016年11卷1期 433页 MEDLINE
【关键词】 BEOL; Pt diffusion; TMR ratio;
【外文期刊】 Diana,Mata-Hernandez ; Daniel,Fernández ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2020年20卷21期 SCIMEDLINE
【外文期刊】 Ling,Li ; Xiangyu,Chen ; 等 《ACS nano》 2015年9卷8期 8361-7页 SCIMEDLINECA
【关键词】 Cu diffusion barrier; back-end-of-the-line (BEOL); graphene;
【外文期刊】 Robin,Athle ; Megan O,Hill ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 SCIMEDLINECA
【关键词】 BEOL compatibility; FeRAM; ferroelectric;
【外文期刊】 Alvin,Tang ; Aravindh,Kumar ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2021年13卷35期 41866-41874页 SCIMEDLINECA
【关键词】 2D materials; BEOL; CVD growth;
【外文期刊】 Zijian,Zhao ; Sola,Woo ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 SCIMEDLINECA
【关键词】 BEOL; FEOL; disturb free;
【外文期刊】 Piotr,Michalik ; Daniel,Fernández ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2018年18卷7期 SCIMEDLINE
【关键词】 BEOL (Back End of Line); CMOS; CMOS-MEMS;
【外文期刊】 Ivan,Zyulkov ; Mikhail,Krishtab ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2017年9卷36期 31031-31041页 SCIMEDLINECA
【外文期刊】 Jiqing,Lu ; Mei,Shen ; 等 《Nano letters》 2024年24卷48期 15260-15267页 SCIMEDLINECA
【关键词】 BEOL; SnOx; low temperature;
【外文期刊】 Jendrik,Silomon ; Dulguun,Chimeg ; 等 《MethodsX》 2023年10卷 102028页
【关键词】 Cu-pillar tensile stress testing; Flexible customization of micromechanical load induction to individual electrical microchip connectors for BEoL ; robustness evaluation;