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            1. Fabrication and modelling of fractal, biomimetic, micro and nano-topographical surfaces

            【外文期刊】 Kyle, Daniel J. T. ; Oikonomou, Antonios ; 等 《Bioinspiration & biomimetics》 2016年11卷4期

            【关键词】 biomimetics; fractal micro and nanotopography; implant biocompatibility;

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            2. Deep reactive ion etching of cylindrical nanopores in silicon for photonic crystals.

            【外文期刊】 Melissa J,Goodwin ; Cornelis A M,Harteveld ; 等 《Nanotechnology》 2023年34卷22期 SCIMEDLINE

            【关键词】 photonic crystals; reactive ion etching; silicon nanophotonics;

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            3. Cryogenic Etching of High Aspect Ratio 400 nm Pitch Silicon Gratings. oa

            【外文期刊】 Houxun,Miao ; Lei,Chen ; 等 《Journal of microelectromechanical systems : a joint IEEE and ASME publication on microstructures, microactuators, microsensors, and microsystems》 2016年25卷5期 963-967页 SCIMEDLINE

            【关键词】 Cryogenic silicon etching; deep reactive ion etching; high aspect ratio silicon grating;

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            4. Recent Advances in Reactive Ion Etching and Applications of High-Aspect-Ratio Microfabrication.

            【外文期刊】 Michael,Huff ; 《Micromachines》 2021年12卷8期

            【关键词】 MEMS; NEMS; high-aspect ratio etching;

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            5. Direct Fabrication of Monodisperse Silica Nanorings from Hollow Spheres - A Template for Core-Shell Nanorings.

            【外文期刊】 Kuo,Zhong ; Jiaqi,Li ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2016年8卷16期 10451-8页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 antibonding; colloidal lithography; hollow spheres;

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            6. Reliable Nanofabrication of Single-Crystal Diamond Photonic Nanostructures for Nanoscale Sensing.

            【外文期刊】 Mariusz,Radtke ; Richard,Nelz ; 等 《Micromachines》 2019年10卷11期

            【关键词】 HSQ; electron beam lithography; inductively coupled-reactive ion etching (ICP-RIE);

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            7. An Investigation of Processes for Glass Micromachining.

            【外文期刊】 Nguyen,Van Toan ; Masaya,Toda ; 等 《Micromachines》 2016年7卷3期

            【关键词】 glass micromachining; glass reflow process; reactive ion etching;

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            8. Dry-Etchable Molecular Layer-Deposited Inhibitor Using Annealed Indicone Film for Nanoscale Area-Selective Deposition.

            【外文期刊】 Seunghwan,Lee ; Hye-Mi,Kim ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2021年13卷50期 60144-60153页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 AS-ALD; MLD; alucone;

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            9. Formation of Si nanopillars through partial sacrificing in super passivation reactive ion etching.

            【外文期刊】 Jingjing,Zhang ; Lihui,Yu ; 等 《Nanotechnology》 SCIMEDLINE

            【关键词】 Partial sacrificing; Reactive ion etching; Si grasses;

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            10. Controlling the orientation of nanowrinkles and nanofolds by patterning strain in a thin skin layer on a polymer substrate.

            【外文期刊】 Mark D,Huntington ; Clifford J,Engel ; 等 《Angewandte Chemie (International ed. in English)》 2014年53卷31期 8117-21页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 materials science; nanofolds; nanowrinkles;

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            11. Meniscus-mask lithography for fabrication of narrow nanowires.

            【外文期刊】 Vera,Abramova ; Alexander S,Slesarev ; 等 《Nano letters》 2015年15卷5期 2933-7页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 meniscus-mask lithography; nanowires; reactive ion etching;

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            12. Nanoscale refractory doped titanium nitride field emitters.

            【外文期刊】 A,Nardi ; M,Turchetti ; 等 《Nanotechnology》 2021年32卷31期 SCIMEDLINE

            【关键词】 CMOS-compatible; damage; electron beam lithography;

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            13. Ultrananocrystalline diamond-coated nanoporous membranes support SK-N-SH neuroblastoma epithelial [corrected] cell attachment. oa

            【外文期刊】 Kai-Hung,Yang ; Alexander K,Nguyen ; 等 《Interface focus》 2018年8卷3期 20170063页 SCIMEDLINEBP

            【关键词】 biocompatibility; nanoporous membrane; reactive ion etching;

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            14. On the Use of Black Ti as a Bone Substituting Biomaterial: Behind the Scenes of Dual-Functionality.

            【外文期刊】 Khashayar,Modaresifar ; Mahya,Ganjian ; 等 《Small (Weinheim an der Bergstrasse, Germany)》 2021年17卷24期 e2100706页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 antibacterial effects; cell morphology; focal adhesions;

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            15. 3D nano-structures for laser nano-manipulation.

            【外文期刊】 Gediminas,Seniutinas ; Lorenzo,Rosa ; 等 《Beilstein journal of nanotechnology》 2013年4卷 534-41页

            【关键词】 extraordinary transmission; near field; optical tweezing;

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            16. Resist-free antireflective nanostructured film fabricated by thermal-NIL.

            【外文期刊】 Young Hun,Kang ; Jae Hyung,Han ; 等 《Nano convergence》 2014年1卷1期 19页

            【关键词】 Anodic aluminum oxide template; Antireflective films; Moth-eye;

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            17. A Sliding-Mode Triboelectric Nanogenerator with Chemical Group Grated Structure by Shadow Mask Reactive Ion Etching.

            【外文期刊】 Wanyu,Shang ; Guang Qin,Gu ; 等 《ACS nano》 2017年11卷9期 8796-8803页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 chemical group grated structure; nylon film; reactive ion etching;

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            18. Highly Conductive Nanocrystalline Diamond Films and Electronic Metallization Scheme. oa

            【外文期刊】 Xin,Chen ; Markus,Mohr ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2021年14卷16期 SCIMEDLINE

            【关键词】 contact resistance; hot-filament CVD; nanocrystalline diamond;

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            19. A Simple Method for Fabricating an External Light Extraction Composite Layer with RNS to Improve the Optical Properties of OLEDs.

            【外文期刊】 Geun-Su,Choi ; Shin-Woo,Kang ; 等 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2022年12卷9期

            【关键词】 external light extraction; nanoparticle; organic light-emitting diodes;

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            20. Terahertz Magnetic Mirror Realized with Dielectric Resonator Antennas.

            【外文期刊】 Daniel,Headland ; Shruti,Nirantar ; 等 《Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)》 2015年27卷44期 7137-44页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 artificial magnetic conductors; dielectric resonator antennas; dielectrics;

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            21. Enhancing Si3N4 Selectivity over SiO2 in Low-RF Power NF3-O2 Reactive Ion Etching: The Effect of NO Surface Reaction. oa

            【外文期刊】 Nguyen Hoang,Tung ; Heesoo,Lee ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2024年24卷10期 SCIMEDLINE

            【关键词】 Si3N4; SiO2; reaction surface;

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            22. Silicon-Based 3D All-Solid-State Micro-Supercapacitor with Superior Performance.

            【外文期刊】 Yurong,Wang ; Leimeng,Sun ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2020年12卷39期 43864-43875页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 AC filter; all-solid-state; deep reactive ion etching;

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            23. Enhancing Light Extraction Efficiency in OLED Using Scattering Structure-Embedded DMD-Based Transparent Composite Electrodes.

            【外文期刊】 Geun-Su,Choi ; Eun-Jeong,Bae ; 等 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2023年13卷15期

            【关键词】 dielectric/metal/dielectric; external light extraction; organic light-emitting diodes;

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            24. Black Silicon as Anti-Reflective Structure for Infrared Imaging Applications.

            【外文期刊】 Eivind,Bardalen ; Angelos,Bouchouri ; 等 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2023年14卷1期

            【关键词】 anti-reflection; black silicon; infrared imaging;

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            25. A low-cost CMOS-MEMS piezoresistive accelerometer with large proof mass. oa

            【外文期刊】 Mohd Haris Md,Khir ; Peng,Qu ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2011年11卷8期 7892-907页 SCIMEDLINE

            【关键词】 CMOS-MEMS; deep reactive ion etching (DRIE); piezoresistive;

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            26. The Tailored Material Removal Distribution on Polyimide Membrane Can Be Obtained by Introducing Additional Electrodes. oa

            【外文期刊】 Xiang,Wu ; Bin,Fan ; 等 《Polymers》 2023年15卷10期 SCIMEDLINECA

            【关键词】 additional electrode; material removal distribution; polyimide membrane;

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            27. Enhancement of Efficiency of a Solar Cell Fabricated on Black Si Made by Inductively Coupled Plasma-Reactive Ion Etching Process: A Case Study of a n-CdS/p-Si Heterojunction Cell.

            【外文期刊】 Ajit K,Katiyar ; S,Mukherjee ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2015年7卷42期 23445-53页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 CdS/Si heterojunction; black Si; inductively coupled plasma?reactive ion etching;

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            28. Fabrication of X-ray Gratings for Interferometric Imaging by Conformal Seedless Gold Electroplating.

            【外文期刊】 Konstantins,Jefimovs ; Joan,Vila-Comamala ; 等 《Micromachines》 2021年12卷5期

            【关键词】 Bosch process; X-ray interferometry; deep reactive ion etching;

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            29. A large-size and polarization-independent two dimensional grating fabricated by scanned reactive-ion-beam etching.

            【外文期刊】 Wei,Zhang ; Wenhao,Li ; 等 《Nanophotonics (Berlin, Germany)》 2022年11卷21期 4649-4657页

            【关键词】 large size grating; polarization independent; scanned reactive-ion-beam etching;

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            30. Change in Electrical/Mechanical Properties of Plasma Polymerized Low Dielectric Constant Films after Etching in CF4/O2 Plasma for Semiconductor Multilevel Interconnects. oa

            【外文期刊】 Namwuk,Baek ; Yoonsoo,Park ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2023年16卷13期 SCIMEDLINE

            【关键词】 intermetal dielectric; low dielectric material; plasma-enhanced chemical-vapor deposition;

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            31. Cryogenic Etching of Silicon: An Alternative Method For Fabrication of Vertical Microcantilever Master Molds. oa

            【外文期刊】 Kweku A,Addae-Mensah ; Scott,Retterer ; 等 《Journal of microelectromechanical systems : a joint IEEE and ASME publication on microstructures, microactuators, microsensors, and microsystems》 2009年19卷1期 SCIMEDLINE

            【关键词】 BioMEMS; MEMS; PDMS;

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            32. Angular Dependence of Solar Cell Parameters in Crystalline Silicon Solar Cells Textured with Periodic Array of Microholes.

            【外文期刊】 Serra,Altinoluk ; Naveen,Kumar ; 等 《Global challenges (Hoboken, NJ)》 2020年4卷9期 1900105页

            【关键词】 crystalline silicon; periodic hole texturing; reactive ion etching;

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            33. High-Density Integration of Ultrabright OLEDs on a Miniaturized Needle-Shaped CMOS Backplane.

            【外文期刊】 Sabina,Hillebrandt ; Chang-Ki,Moon ; 等 《Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)》 2024年36卷20期 e2300578页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 aluminum contacts; implants; optogenetics;

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            34. Synthesis and Characterization of Nanocrystalline Boron-Nitride Thin Films by Ion Milling and Thermal Treatment for Tribological Coatings: An Approach to Quantifying the Growth Dynamic Process. oa

            【外文期刊】 Carlos Alberto,Monezi ; Korneli Grigoriev,Grigorov ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2022年15卷5期 SCIMEDLINE

            【关键词】 energy-dependent growth constants; hardness improvement; nanocrystalline BN;

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            35. Design and Validation of a Single-SOI-Wafer 4-DOF Crawling Microgripper.

            【外文期刊】 Matteo,Verotti ; Alvise,Bagolini ; 等 《Micromachines》 2019年10卷6期

            【关键词】 conjugate surface flexure hinge (CSFH); deep-reactive ion etching (DRIE); flexure;

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            36. Three-Dimensional Simulation of DRIE Process Based on the Narrow Band Level Set and Monte Carlo Method.

            【外文期刊】 Jia-Cheng,Yu ; Zai-Fa,Zhou ; 等 《Micromachines》 2018年9卷2期

            【关键词】 Monte Carlo simulation; deep reactive ion etching; level set method;

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            37. Lithography-Free Fabrication of Silica Nanocylinders with Suspended Gold Nanorings for LSPR-Based Sensing.

            【外文期刊】 Anil Haraksingh,Thilsted ; Jesper Yue,Pan ; 等 《Small (Weinheim an der Bergstrasse, Germany)》 2016年12卷48期 6745-6752页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 LSPR; fused silica; nanocylinders;

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            38. Ultraviolet Laser Damage Dependence on Contamination Concentration in Fused Silica Optics during Reactive Ion Etching Process. oa

            【外文期刊】 Laixi,Sun ; Ting,Shao ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2018年11卷4期 SCIMEDLINE

            【关键词】 contamination; fused silica; laser damage;

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            39. Bottom-Up Gold Filling in New Geometries and Yet Higher Aspect Ratio Gratings for Hard X-Ray Interferometry.

            【外文期刊】 D,Josell ; Z,Shi ; 等 《Journal of the Electrochemical Society》 2021年168卷8期

            【关键词】 Electroplating; Talbot interferometer; X-ray optics;

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            40. One-Step Dry-Etching Fabrication of Tunable Two-Hierarchical Nanostructures.

            【外文期刊】 Xu,Ji ; Bo,Wang ; 等 《Micromachines》 2024年15卷9期

            【关键词】 high controllable degrees; inductively coupled plasma reactive ion etching; nanofabrication platform;

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            41. Enhanced Light Extraction from Organic Light-Emitting Diodes with Micro-Nano Hybrid Structure.

            【外文期刊】 Eun-Jeong,Bae ; Shin-Woo,Kang ; 等 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2022年12卷8期

            【关键词】 light extraction; mico-nano hybrid structure; organic light-emitting diodes;

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            42. Different methods to alter surface morphology of high aspect ratio structures. oa

            【外文期刊】 M,Leber ; M M H,Shandhi ; 等 《Applied surface science》 2016年365卷 180-190页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 Deep Reactive Ion Etching (DRIE); Dry Etching; Focused Ion Beam;

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            43. Formation of Black Silicon in a Process of Plasma Etching with Passivation in a SF6/O2 Gas Mixture.

            【外文期刊】 Andrey,Miakonkikh ; Vitaly,Kuzmenko ; 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2024年14卷11期

            【关键词】 anisotropic etching; black silicon; light absorbance;

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            44. Aerosol Jet Printing of 3D Pillar Arrays from Photopolymer Ink. oa

            【外文期刊】 Vitor,Vlnieska ; Evgeniia,Gilshtein ; 等 《Polymers》 2022年14卷16期 SCIMEDLINECA

            【关键词】 3D structures; aerosol jet printing; aryl epoxy oligomers;

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            45. Flexible Embedded Metal Meshes by Sputter-Free Crack Lithography for Transparent Electrodes and Electromagnetic Interference Shielding. oa

            【外文期刊】 Mehdi,Zarei ; Mingxuan,Li ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2024年16卷5期 6382-6393页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 EMI shielding; crack lithography; flexible transparent electrode;

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            46. On reactive Ion Etching of Parylene-C with Simple Photoresist Mask for Fabrication of High Porosity Membranes to Capture Circulating and Exfoliated Tumor Cells.

            【外文期刊】 Inad,Rabadi ; David,Carpentieri ; 等 《Micromachines》 2024年15卷4期

            【关键词】 circulating/exfoliated tumor cell capture; high porosity parylene membrane; reactive ion etching;

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            47. Near-IR Photoinduced Electrochemiluminescence Imaging with Structured Silicon Photoanodes.

            【外文期刊】 Yiran,Zhao ; Borja,Sépulveda ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2024年16卷9期 11722-11729页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 IR imaging; deep reactive ion etching; electrochemiluminescence;

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            48. Long term performance of porous platinum coated neural electrodes.

            【外文期刊】 M,Leber ; R,Bhandari ; 等 《Biomedical microdevices》 2017年19卷3期 62页 SCIMEDLINE

            【关键词】 Deep reactive ion etching (DRIE); Interface impedance; Neural implants;

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            49. Process Development for Batch Production of Micro-Milling Tools Made of Silicon Carbide by Means of the Dry Etching Process.

            【外文期刊】 Christian-G R,Wittek ; Lukas,Steinhoff ; 等 《Micromachines》 2023年14卷3期

            【关键词】 batch production; micro-milling; photolithography;

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            50. High-Efficiency Flexible Perovskite Solar Cells Enabled by an Ultrafast Room-Temperature Reactive Ion Etching Process.

            【外文期刊】 Byeong Jo,Kim ; Seung Lee,Kwon ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2020年12卷6期 7125-7134页 SCIMEDLINECA

            【关键词】 flexible device; low-temperature process; perovskite;

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