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【外文期刊】 Houxun,Miao ; Lei,Chen ; 等 《Journal of microelectromechanical systems : a joint IEEE and ASME publication on microstructures, microactuators, microsensors, and microsystems》 2016年25卷5期 963-967页 SCIMEDLINE
【关键词】 Cryogenic silicon etching; deep reactive ion etching; high aspect ratio silicon grating;
【外文期刊】 Kai-Hung,Yang ; Alexander K,Nguyen ; 等 《Interface focus》 2018年8卷3期 20170063页 SCIMEDLINEBP
【关键词】 biocompatibility; nanoporous membrane; reactive ion etching;
【外文期刊】 Xin,Chen ; Markus,Mohr ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2021年14卷16期 SCIMEDLINE
【关键词】 contact resistance; hot-filament CVD; nanocrystalline diamond;
【外文期刊】 Nguyen Hoang,Tung ; Heesoo,Lee ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2024年24卷10期 SCIMEDLINE
【关键词】 Si3N4; SiO2; reaction surface;
【外文期刊】 Mohd Haris Md,Khir ; Peng,Qu ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2011年11卷8期 7892-907页 SCIMEDLINE
【关键词】 CMOS-MEMS; deep reactive ion etching (DRIE); piezoresistive;
【外文期刊】 Xiang,Wu ; Bin,Fan ; 等 《Polymers》 2023年15卷10期 SCIMEDLINECA
【关键词】 additional electrode; material removal distribution; polyimide membrane;
【外文期刊】 Namwuk,Baek ; Yoonsoo,Park ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2023年16卷13期 SCIMEDLINE
【关键词】 intermetal dielectric; low dielectric material; plasma-enhanced chemical-vapor deposition;
【外文期刊】 Kweku A,Addae-Mensah ; Scott,Retterer ; 等 《Journal of microelectromechanical systems : a joint IEEE and ASME publication on microstructures, microactuators, microsensors, and microsystems》 2009年19卷1期 SCIMEDLINE
【外文期刊】 Carlos Alberto,Monezi ; Korneli Grigoriev,Grigorov ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2022年15卷5期 SCIMEDLINE
【关键词】 energy-dependent growth constants; hardness improvement; nanocrystalline BN;
【外文期刊】 Laixi,Sun ; Ting,Shao ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2018年11卷4期 SCIMEDLINE
【关键词】 contamination; fused silica; laser damage;
【外文期刊】 M,Leber ; M M H,Shandhi ; 等 《Applied surface science》 2016年365卷 180-190页 SCIMEDLINECA
【关键词】 Deep Reactive Ion Etching (DRIE); Dry Etching; Focused Ion Beam;
【外文期刊】 Vitor,Vlnieska ; Evgeniia,Gilshtein ; 等 《Polymers》 2022年14卷16期 SCIMEDLINECA
【关键词】 3D structures; aerosol jet printing; aryl epoxy oligomers;
【外文期刊】 Mehdi,Zarei ; Mingxuan,Li ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2024年16卷5期 6382-6393页 SCIMEDLINECA
【关键词】 EMI shielding; crack lithography; flexible transparent electrode;
【外文期刊】 Katarzyna,Racka-Szmidt ; Bartłomiej,Stonio ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2021年15卷1期 SCIMEDLINE
【外文期刊】 Hyejeong,Seong ; Stuart G,Higgins ; 等 《ACS nano》 2020年14卷5期 5371-5381页 SCIMEDLINECA
【关键词】 biointerface; cell?material interactions; deep reactive ion etching (DRIE);
【外文期刊】 Mingxuan,Li ; Mehdi,Zarei ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2023年15卷25期 30591-30599页 SCIMEDLINECA
【关键词】 EMI shielding; Metal ink; Metal mesh;
【外文期刊】 Jonghyeon,Yun ; Hyunwoo,Cho ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2022年15卷6期 SCIMEDLINE
【关键词】 smart swallowing rehabilitation; tilting reactive ion etching; triboelectric nanogenerator;
【外文期刊】 Paola,Pellacani ; Carlo,Morasso ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2020年13卷5期 SCIMEDLINE
【关键词】 SERS; Si pillars; XAS;
【外文期刊】 Changyong,Oh ; Myeong Woo,Ju ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2024年17卷24期 SCIMEDLINE
【关键词】 InGaZnO (IGZO); dry etching; inductively coupled plasma–reactive-ion etching (ICP-RIE);
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