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【外文期刊】 Jae-Hoon,Yoo ; Won-Ji,Park ; 等 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2023年13卷11期
【关键词】 HfO2; memory window; plasma damage;
【外文期刊】 Jae-Min,Park ; Se Jin,Jang ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2016年8卷32期 20865-71页 SCIMEDLINECA
【关键词】 N2 plasma; bis(dimethylaminomethylsilyl)trimethylsilyl amine (DTDN2-H2); density functional theory;
【外文期刊】 Felix,Blendinger ; Daniel,Seitz ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2021年13卷3期 3536-3546页 SCIMEDLINECA
【关键词】 atomic layer deposition (ALD); bioactive coating; osseointegration;
【外文期刊】 Jiazhen,Sheng ; TaeHyun,Hong ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2019年11卷43期 40300-40309页 SCIMEDLINECA
【关键词】 InGaZnO (IGZO); atomic layer deposition (ALD); plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD);
【外文期刊】 Woo-Jae,Lee ; Eun-Young,Yun ; 等 《Data in brief》 2020年31卷 105777页
【关键词】 Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition (PEALD); TiN (Titanium Nitride); tetrakis(dimethylamino)titanium (TDMAT);
【外文期刊】 Maximilian,Gebhard ; Lukas,Mai ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2018年10卷8期 7422-7434页 SCIMEDLINECA
【关键词】 PEALD; dyads; gas barrier;
【外文期刊】 Endong,Jia ; Chunlan,Zhou ; 等 《Nanoscale research letters》 2015年10卷 129页 MEDLINE
【关键词】 Al2O3; PEALD; Silicon surface passivation;
【外文期刊】 Katherine M,Price ; Kirstin E,Schauble ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2017年9卷27期 23072-23080页 SCIMEDLINECA
【关键词】 2D crystals; ALD; MoS2;
【外文期刊】 Jiazhen,Sheng ; Ju-Hwan,Han ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2017年9卷49期 42928-42934页 SCIMEDLINECA
【外文期刊】 Konstantin V,Egorov ; Dmitry S,Kuzmichev ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2017年9卷15期 13286-13292页 SCIMEDLINECA
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