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【外文期刊】 Lu,Jia ; Guowei,Han ; 等 《Micromachines》 2022年13卷11期
【关键词】 butterfly vibratory gyroscope;ultra-high Q factor;wafer-level sandwich packaging;
- 概要：
- 方法：
- 结论：
- 概要：
- 方法：
- 结论：
【外文期刊】 Jian,Yang ; Chaowei,Si ; 等 《Micromachines》 2019年10卷4期
【关键词】 aluminum nitride;gyroscope;microelectromechanical systems (MEMS);
- 概要：
- 方法：
- 结论：
【外文期刊】 Peishuai,Song ; Chaowei,Si ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2020年20卷2期 SCIMEDLINE
【关键词】 blood pressure;miniature;piezoresistive pressure sensor;
- 概要：
- 方法：
- 结论：
【外文期刊】 Yan,Su ; Xin,Tong ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2018年18卷4期 SCIMEDLINE
【关键词】 MEMS gyroscopes;PSPICE;closed-loop;
- 概要：
- 方法：
- 结论：
【外文期刊】 Meng,Zhang ; Jian,Yang ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2018年19卷1期 SCIMEDLINE
【关键词】 3D encapsulation;MEMS;capacitive;
- 概要：
- 方法：
- 结论：
【外文期刊】 Jian,Yang ; Chaowei,Si ; 等 《Micromachines》 2018年9卷2期
【关键词】 aluminum nitride;cantilever;gyroscope;
- 概要：
- 方法：
- 结论：
【外文期刊】 Zhongxuan,Hou ; Yongkang,Zhang ; 等 《Micromachines》 2023年14卷6期
【关键词】 Al-Sc alloy;RF MEMS;S-parameters;
- 概要：
- 方法：
- 结论：
【外文期刊】 Jian,Yang ; Meng,Zhang ; 等 《Micromachines》 2019年10卷9期
- 概要：
- 方法：
- 结论：
【外文期刊】 Yan,Su ; Pengfei,Xu ; 等 《Micromachines》 2020年11卷2期
【关键词】 gyroscopes;micro-electro-mechanical system (MEMS);nonlinear PLL (NPLL);
- 概要：
- 方法：
- 结论：
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