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          【中文期刊】 甄真  朱红  《仪器与设备》 2022年10卷1期 1-10页

          【关键词】 MEMS加速度计微加工

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          【成果】 88204069 上海 TH82 应用技术 通用仪器仪表制造

          【成果简介】 CYJ-1差容式加速度计,具有可量测零赫加速度值,能在恶劣环境下工作,体积小、重量轻、灵敏度高、后续仪器简单、使用方便等特点,广泛适用于各部门的低频、超低频振动测试,特别适用于野外实测工作。该仪器采用差容脉冲调宽电路、空气压膜阻尼器,去掉了...

          【关键词】 加速度测量尼器电子电路

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          【成果】 0700130050 黑龙江 TP212.17 应用技术 通用仪器仪表制造 电子器件制造 2006年

          【成果简介】 CA-YZ-803压阻加速度计与ZXAC-801振动变换器是内装信号调节器的压阻式加速度传感器。压阻式加速度敏感元件设计为整体硅结构,由带多根梁的硅框架支撑一块经微细加工而成的硅质量块。当硅框架受加速度作用,由于惯性力硅块相对于框架运动时造...

          【关键词】 加速度计振动变换器加速度传感器

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          【成果】 0300730111 北京 TH824.4 应用技术 电子器件制造 2003年

          【成果简介】 该加速度计采用硅梁压阻桥式结构,其关键技术为:① 硅梁结构的制备;② 低失调压阻电桥的制备;③ 传感器硅芯片封装技术:包括质量块粘接技术,最佳阻尼技术等;④ 传感器温度补偿技术与信号的放大技术。

          【关键词】 加速度计加速度计硅集成加速度计

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