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          【中文期刊】 李国华  《现代仪器》 2012年18卷1期 38-39,43页

          【摘要】 光纤光栅点式水压传感器是应用光纤受外力变形时,射入光纤的紫外激光的波长会发生改变并被光栅反射回来原理,利用光栅变形传感器相对某一点水压力的瞬时压力值测试,扩展光纤光栅传感器的种类和应用.布喇格( Bragg)光纤光栅作为传感元件具有灵敏度高...

          【关键词】 布喇格( Bragg)光纤光栅点式水压力传感器机械封装结构

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          【成果】 2000200236 上海 TN305.94 应用技术 电子器件制造 2020年

          【成果简介】 该项目属微机电系统(MEMS)领域。它可利用微电子工艺将传感器、执行器和处理电路集成在一起构成单片集成传感器或系统,还可实现大规模批量制造,是支撑智能等技术发展的底层核心技术。该项目针对中国长期存在的MEMS量产难、检测难和封装难的问题,从...

          【关键词】 封装工艺机械结构传感器

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          【成果】 2000200078 上海 TQ050.2 应用技术 工程和技术研究与试验发展 2020年

          【成果简介】 传统化工机械装置存在效率低、体积大、安全隐患高、通用性差、操作响应时滞长等局限性,限制了化工与能源行业的跨越发展。与微机电系统(MEMS)相比较,实现化学机械系统的微小化更具有挑战性,其难点包括微流体传递、反应过程强化、安全可靠性等诸多问题...

          【关键词】 微化学机械系统结构加工封装设计方法

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