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【中文期刊】 孙晓娜 李刚 等 《光学精密工程》 2009年17卷9期 2176-2183页
【摘要】 为了实现电极位点与靶细胞的良好接触,改善刺激效果,同时保证刺激电极的自身安全,提出了一种具有圆滑外形的丘形柔性神经刺激微电极阵列.以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,利用光刻和金属层图形化结合电镀工艺,制作了6×6丘形...
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【中文期刊】 吴义伯 邢玉梅 等 《微细加工技术》 2008年2期 43-47页
【摘要】 采用聚对二甲苯(parylene)作为基底,通过对柔性神经微电极阵列结构、引线排布、电极材料等进行优化选择和设计,并采用微机电加工工艺(MEMS),设计并研制出了2×8柔性神经微电极阵列,旨在为视网膜神经接口电极的研究开发奠定基础.
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【中文期刊】 孙晓娜 周洪波 等 《光学精密工程》 2008年16卷8期 1396-1402页
【摘要】 提出了一种三维凸起柔性神经微电极阵列的制作方法.该方法以光敏性聚酰亚胺(Durimide 7510)为基质材料,以各向异性刻蚀的硅为模具,结合微注模、金属微图形化和牺牲层电化学释放技术制作三维凸起柔性微电极,并通过数值模拟、形貌观测和电学性...
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【中文期刊】 吴义伯 徐爱兰 等 《仪器仪表学报》 2008年29卷12期 2527-2531页
【摘要】 用于视网膜修复的神经微电极阵列(MEAs)是当前国内外研究的热点问题之一.本文提出了一种以新型材料--聚对二甲苯(Parylene)为基底的柔性神经微电极,采用MEMS技术设计了其微加工工艺,并使用电化学分析手段对制作的柔性微电极性能进行了...
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【中文期刊】 李博 惠春 等 《传感器与微系统》 2007年26卷10期 101-102,113页
【摘要】 衬底集成的微电极是植入式微系统中的重要部件,起着对神经进行电刺激并记录神经信号的关键作用.采用微细加工技术在新型柔性基底-聚对二甲苯(Parylene)上制作微电极阵列.阐述了Parylene基微电极阵列的加工工艺,并利用光学显微镜和电化学...
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【中文期刊】 吴义伯 侯安州 等 《半导体技术》 2007年32卷12期 1018-1020,1036页
【摘要】 基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号.以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列.采用MEMS加工技术,设计了一种...
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【中文期刊】 刘娜 石卫卫 等 《第三军医大学学报》 2011年33卷11期 1103-1105页ISTICPKUCSCDCA
【摘要】 目的 建立初级视皮层区硬脑膜上柔性微电极阵列记录视皮层电活动的方法,比较黑白棋盘格图形和黑白闪烁刺激在诱发视觉诱发电位(visual evoked potential,VEP)方面的差异.方法 成年健康家猫5只,静脉持续麻醉,肌松、呼吸机人...
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【学位论文】 作者：李欣蓉 导师：蔡新霞 中国科学院大学 电子科学与技术 微电子学与固体电子学（博士） 2022年
【摘要】 大脑蕴含着复杂的神经网络。神经信息的传递是通过跨多个结构互连的大量神经元之间的协调活动来实现的。而神经元活动异常时会导致神经系统疾病的产生，如癫痫等重大脑疾病。由于大脑具有多维结构，因此利用有效的器件对表面皮层和脑深部神经信息进行全面地检测...
【关键词】 柔性皮层微电极阵列 ； 柔性植入式微电极阵列 ；
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【学位论文】 作者：杨灿灿 导师：李忠民 南昌航空大学 信息与通信工程 电子与通信工程（硕士） 2016年
【摘要】 随着科学技术的进步和发展，智能传感器越来越受到社会各界的重视。基于柔性可拉伸微电极薄膜应变传感器是一款可感知物体表面受到拉力作用后应变大小的电子器件，它能够贴附在不光滑、不平整的表面，在智能机器人、人工皮肤、可穿戴式电子设备等研究领域有着非...
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