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关键词=(电容式微机械超声传感器)
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【中文期刊】 郭庆 李妍 等 《中国生物医学工程学报》 2018年37卷6期 705-713页ISTICPKUCSCDCA
【摘要】 电容式超声传感器有可能取代压电式超声传感器,在超声成像领域受到极大的关注.目前,对采用牺牲层释放技术加工而成的电容式微机械超声传感器(CMUT)的分析,均较少将释放工艺对其结构参数的影响进行详细的分析,故拟将牺牲层释放工艺对CMUT参数的影...
【关键词】 电容式微机械超声传感器；共振频率；有限元仿真；
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