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【成果】 0501010006 浙江 TQ174.756 TQ174.758.22 应用技术 印刷、制药、日化生产专用设备制造 2005年
【成果简介】 随着无线通信行业的飞速发展，作为无线系统中不可或缺的电子陶瓷器件，如陶瓷介质天线、陶瓷滤波器、谐振器、双工器等，其市场正变得越来越大。据我国信息产业部的统计，2001年，国内市场用量达人民币57亿元，并以每年20%以上的速度增长，预计200...
【成果】 0300751098 广东 TG155.5 TG178 应用技术 矿山、冶金、建筑专用设备制造 2002年
【成果简介】 该型装置是一条大型连续式生产高档STN-LCD用ITO薄膜生产线。该线利用中频（MF）反应磁控溅射设备制备SiO<,2>薄膜的技术，实现了与氧化铟锡（ITO）膜的在线联镀，解决了困扰此类ITO镀膜生产线中的SiO<,2>薄膜沉积速率和制造成...
【成果】 0702050018 广东 TQ171.68 应用技术 印刷、制药、日化生产专用设备制造 2008年
【成果简介】 现有大型连续镀膜生产线的进片系统(包括进片室和缓冲室)主要工作在1.5-100Pa中真空范围，进片室采用罗茨泵机组抽气，缓冲室采用油扩散泵(或分子泵)机组抽气，其油蒸汽会对清洁基片产生严重污染，显著影响了薄膜产品的质量(例如结合力和针孔等)...
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