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【成果】 0300750874 吉林 TN248 应用技术 电子器件制造 2002年
【成果简介】 光学微腔体积在微米量级,光场量子化分布,使激光器的阈值大幅降低。微腔激光器集成度可以达到每平方厘米百万个,满足大规模集成光路的应用。InGaAs/InGaAsP碟型微腔激光器由量子阱微碟层及支柱层组成。在样品上刻蚀出直径均匀的圆柱,再用选择...
【关键词】 1.55μm激光; lnGaAs/InGaAsP激光器; 微腔激光器;