换一批
换一批- 最近
- 已收藏
- 排序
- 筛选
- 27
- 12
- 11
- 7
- 3
- 2
- 中文期刊
- 刊名
- 作者
- 作者单位
- 收录源
- 栏目名称
- 语种
- 主题词
- 外文期刊
- 文献类型
- 刊名
- 作者
- 主题词
- 收录源
- 语种
- 学位论文
- 授予学位
- 授予单位
- 会议论文
- 主办单位
- 专 利
- 专利分类
- 专利类型
- 国家/组织
- 法律状态
- 申请/专利权人
- 发明/设计人
- 成 果
- 鉴定年份
- 学科分类
- 地域
- 完成单位
- 标 准
- 强制性标准
- 中标分类
- 标准类型
- 标准状态
- 来源数据库
- 法 规
- 法规分类
- 内容分类
- 效力级别
- 时效性
【外文期刊】 Francesc,Torres ; Arantxa,Uranga ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2016年16卷10期 SCIMEDLINE
【外文期刊】 Eyglis,Ledesma ; Ivan,Zamora ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2021年21卷24期 SCIMEDLINE
【关键词】 AlN; CMOS; MEMS-on-CMOS;
【外文期刊】 Zahid,Mehmood ; Ibraheem,Haneef ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2019年19卷8期 SCIMEDLINE
【关键词】 MEMS thermal flow sensors; complementary metal oxide semiconductor (CMOS); conduction losses;
【外文期刊】 Diana,Mata-Hernandez ; Daniel,Fernández ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2020年20卷21期 SCIMEDLINE
【外文期刊】 Reinoud,Wolffenbuttel ; Declan,Winship ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2024年24卷11期 SCIMEDLINE
【关键词】 Bragg reflector with lossy layers; CMOS-compatible optical sensors; Fabry–Perot resonator with lossy layers;
【外文期刊】 Rafel,Perelló-Roig ; Jaume,Verd ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2018年18卷9期 SCIMEDLINE
【关键词】 CMOS-MEMS; MEMS resonators; sensors;
【外文期刊】 Mohd Haris Md,Khir ; Peng,Qu ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2011年11卷8期 7892-907页 SCIMEDLINE
【关键词】 CMOS-MEMS; deep reactive ion etching (DRIE); piezoresistive;
【外文期刊】 Wenzui,Jin ; Yimin,Guan ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2023年23卷11期 SCIMEDLINE
【外文期刊】 Katerina,Naydenova ; Christopher J,Russo ; 《Ultramicroscopy》 2022年232卷 113396页 SCIMEDLINECABP
【外文期刊】 Ying,Dai ; Syed Zeeshan,Ali ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2020年20卷9期 SCIMEDLINE
加载中...
