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【外文期刊】 Changyong,Oh ; Taehyeon,Kim ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2023年16卷18期 SCIMEDLINE
【关键词】 InGaZnO (IGZO); UV treatment; ozone annealing;
【外文期刊】 Yan,Zhou ; Chengyuan,Dong ; 《Micromachines》 2018年9卷11期
【关键词】 amorphous InGaZnO (a-IGZO); characteristic length; passivation layer;
【外文期刊】 Dong Hun,Lee ; Honghwi,Park ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2021年13卷46期 55676-55686页 SCIMEDLINECA
【关键词】 InGaZnO (IGZO); SnOx; diode;
【外文期刊】 Jiazhen,Sheng ; TaeHyun,Hong ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2019年11卷43期 40300-40309页 SCIMEDLINECA
【关键词】 InGaZnO (IGZO); atomic layer deposition (ALD); plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD);
【外文期刊】 Zenghui,Fan ; Ao,Shen ; 等 《Micromachines》 2022年13卷12期
【关键词】 Technology Computer Aided Design (TCAD); amorphous InGaZnO (a-IGZO); double-stacked channel layers (DSCL);
【外文期刊】 Hyo-Jun,Joo ; Dae-Hwan,Kim ; 等 《Micromachines》 2020年11卷9期
【关键词】 Hall offset voltage; conduction band edge energy profile; n-channel InGaZnO (IGZO);
【外文期刊】 Wen,Zhang ; Zenghui,Fan ; 等 《Micromachines》 2021年12卷12期
【关键词】 amorphous InGaZnO (a-IGZO); annealing atmosphere; oxygen vacancy;
【外文期刊】 Changyong,Oh ; Myeong Woo,Ju ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2024年17卷24期 SCIMEDLINE
【关键词】 InGaZnO (IGZO); dry etching; inductively coupled plasma–reactive-ion etching (ICP-RIE);
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