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关键词=(MEMS压阻式压力传感器)
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【学位论文】 作者：董娜娜 导师：许高斌 合肥工业大学 电子科学与技术 集成电路工程（硕士） 2023年
【摘要】 颅腔内容物对颅腔壁会有一定的压力，这一压力称为颅内压（Intranialpressure，ICP），各种神经系统的疾病均会引起颅内压的增高，因此在临床治疗中监测颅压可以及时了解患者的情况，有效的提高医疗水平。传感器小型化、灵敏度高、稳定性好...
【关键词】 MEMS压阻式压力传感器 ； 颅压监测 ；
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