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【外文期刊】 Xin,Meng ; Harrison Sejoon,Kim ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2018年10卷16期 14116-14123页 SCIMEDLINECA
【外文期刊】 Xiaojie,Sun ; Lanlan,Chen ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2024年17卷23期 SCIMEDLINE
【外文期刊】 Mathias,Franz ; Mahnaz,Safian Jouzdani ; 等 《Beilstein journal of nanotechnology》 2023年14卷 951-963页
【关键词】 PEALD; XPS; atomic layer deposition (ALD);
【外文期刊】 Hong-Ping,Ma ; Jia-He,Yang ; 等 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2019年9卷1期
【关键词】 SiO2; SiOx; plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD);
【外文期刊】 Xin,Meng ; Young-Chul,Byun ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2016年9卷12期 SCIMEDLINE
【关键词】 atomic layer deposition; plasma-enhanced ALD (PEALD); review;
【外文期刊】 Sanjie,Liu ; Gang,Zhao ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2019年11卷38期 35382-35388页 SCIMEDLINECA
【关键词】 Ar/N2/H2 plasma; GaN; GaN/Si (100) interface;
【外文期刊】 Hong-Yan,Chen ; Hong-Liang,Lu ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2017年9卷44期 38662-38669页 SCIMEDLINECA
【关键词】 X-ray photoelectron spectroscopy; aluminum oxynitride (AlON); doping profile;
【外文期刊】 Yimeng,Song ; Yangfeng,Li ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2022年14卷14期 16866-16875页 SCIMEDLINECA
【关键词】 PEALD; mono-MoS2; quality improvement;
【外文期刊】 Hak-Gyeong,Kim ; Da-Hee,Hong ; 等 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2022年12卷3期
【关键词】 HZO; PEALD; deposition temperature;
【外文期刊】 Da Hee,Hong ; Jae Hoon,Yoo ; 等 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2023年13卷5期
【关键词】 HZO; PEALD; antiferroelectric;
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