换一批- 最近
- 已收藏
- 排序
- 筛选
资源类型收起
- 1
中图分类展开
该项聚类结果为0
年份展开
关键词聚类展开
- 1
- 1
- 1
- 1
定制检索筛选项
- 中文期刊
- 刊名
- 作者
- 作者单位
- 收录源
- 栏目名称
- 语种
- 主题词
- 外文期刊
- 文献类型
- 刊名
- 作者
- 主题词
- 收录源
- 语种
- 学位论文
- 授予学位
- 授予单位
- 会议论文
- 主办单位
- 专 利
- 专利分类
- 专利类型
- 国家/组织
- 法律状态
- 申请/专利权人
- 发明/设计人
- 成 果
- 鉴定年份
- 学科分类
- 地域
- 完成单位
- 标 准
- 强制性标准
- 中标分类
- 标准类型
- 标准状态
- 来源数据库
- 法 规
- 法规分类
- 内容分类
- 效力级别
- 时效性
加载更多选项
定制检索筛选项
当前检索式
关键词=(XRT设备)
展开
【中文期刊】 卢嘉倩 魏存峰 等 《中国体视学与图像分析》 2022年26卷2期 156-168页ISTIC
【摘要】 随着晶体管和激光器的发明和发展,工业上对高质量单晶体的需求量大幅度增长.单个集成电路中器件密度在逐渐增加,需要晶圆在组成、组分和晶体结构上高度均匀.X射线形貌术(XRT)是一种能够对完整晶圆的表面及内部进行无损检测的技术,从20世纪中后期就...
浏览：7
被引：2
下载：0
- 概要：
- 方法：
- 结论：
收起
AI内容生成中……
以上内容由AI生成，结果仅供参考
显示侧边栏
加载中...
