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【外文期刊】 Jianjun,Sun ; Yalin,Ding ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2021年21卷19期 SCIMEDLINE
【关键词】 aluminum mirror; coordinate transformation; dynamic step and stare;
【外文期刊】 David M,Fryauf ; Andrew C,Phillips ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2018年10卷48期 41678-41689页 SCIMEDLINECA
【关键词】 ALD; ALD chamber; ALD reactor;
【外文期刊】 Jeong-Yeon,Hwang ; Lena,Wysocki ; 等 《Micromachines》 2023年14卷9期
【关键词】 MEMS mirror; aluminum scandium nitride (AlScN); piezoelectric actuation;
【外文期刊】 Puspendu,Barik ; Saptarshi,Pal ; 等 《Spectrochimica acta. Part A, Molecular and biomolecular spectroscopy》 2021年263卷 120193页 SCIMEDLINECABP
【关键词】 Aluminum foil; Gold nanoparticle; Nanoparticle-on-mirror;
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