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【外文期刊】 Wenda,Bao ; Guannan,Qian ; 等 《Nano letters》 2020年20卷12期 8832-8840页 SCIMEDLINECA
【外文期刊】 Masao,Sakuraba ; Katsutoshi,Sugawara ; 等 《Science and technology of advanced materials》 2017年18卷1期 294-306页
【关键词】 105 Low-Dimension (1D/2D) materials; 201 Electronics / Semiconductor / TCOs; 212 Surface and interfaces;
【外文期刊】 Jae Hyeon,Lee ; Wangu,Kang ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 SCIMEDLINECA
【关键词】 atomic layer deposition; capacitor electrode; dynamic random-access memory (DRAM);
【外文期刊】 Hong-Yan,Chen ; Hong-Liang,Lu ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2017年9卷44期 38662-38669页 SCIMEDLINECA
【关键词】 X-ray photoelectron spectroscopy; aluminum oxynitride (AlON); doping profile;
【外文期刊】 Bart,Macco ; Harm C M,Knoops ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2015年7卷30期 16723-9页 SCIMEDLINECA
【外文期刊】 Yangyang,Li ; Huilong,Zhu ; 等 《Nanomaterials (Basel, Switzerland)》 2021年11卷5期
【关键词】 HNO3 concentration; digital etch; doping effect;
【外文期刊】 Zhujun,Yao ; Haoyu,Yin ; 等 《Small (Weinheim an der Bergstrasse, Germany)》 2019年15卷50期 e1905296页 SCIMEDLINECA
【关键词】 Li4Ti5O12; N-doped carbon nanofiber; Ti3+ self-doping;
【外文期刊】 Lowie,Henderick ; Hamid,Hamed ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2020年12卷23期 25949-25960页 SCIMEDLINECA
【关键词】 aluminum phosphate; atomic layer deposition; lithium-ion battery;
【外文期刊】 William,Chiappim ; Giorgio,Testoni ; 等 《Micromachines》 2021年12卷6期
【关键词】 aluminum oxide; doping; nanolaminates;
【外文期刊】 Xuteng,Yu ; Chang,Liu ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2024年16卷24期 31114-31125页 SCIMEDLINECA
【关键词】 Ni3+/Ni2+ ratio; VNi modulation; atomic layer deposition;
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