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【外文期刊】 Sang Woo,Kim ; Wonjun,Shin ; 等 《Small (Weinheim an der Bergstrasse, Germany)》 e2406376页 SCIMEDLINECA
【关键词】 back‐end‐of‐line; ferroelectric fied‐effect transistor; monolithic 3D integration;
【外文期刊】 Ping-Che,Lee ; Aaron J,McLeod ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2024年16卷20期 26664-26673页 SCIMEDLINECA
【关键词】 aluminum nitride; back end of line; bipolar high-power impulse magnetron sputtering deposition;
【外文期刊】 Omesh,Kapur ; Dongkai,Guo ; 等 《Scientific reports》 2024年14卷1期 14008页
【关键词】 Back-end-of-line; Endurance; Memristor;
【外文期刊】 Zehao,Lin ; Mengwei,Si ; 等 《ACS nano》 2022年16卷12期 21536-21545页 SCIMEDLINECA
【关键词】 atomic layer deposition; back-end-of-line compatibility; charge neutrality level;
【外文期刊】 Seong Jun,Yoon ; Kwanyong,Pak ; 等 《ACS nano》 2017年11卷8期 7841-7847页 SCIMEDLINECA
【关键词】 Cu interconnects; back-end of line process; initiated chemical vapor deposition;
【外文期刊】 Adam,Charnas ; Zhuocheng,Zhang ; 等 《Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)》 2024年36卷9期 e2304044页 SCIMEDLINECA
【关键词】 In2O3; amorphous; atomic layer deposition;
【外文期刊】 Yongkai,Liu ; Tianyu,Wang ; 等 《Nano letters》 2025年25卷1期 157-165页 SCIMEDLINECA
【外文期刊】 Ling,Li ; Xiangyu,Chen ; 等 《ACS nano》 2015年9卷8期 8361-7页 SCIMEDLINECA
【关键词】 Cu diffusion barrier; back-end-of-the-line (BEOL); graphene;
【外文期刊】 Taikyu,Kim ; Cheol Hee,Choi ; 等 《Advanced materials (Deerfield Beach, Fla.)》 2023年35卷43期 e2204663页 SCIMEDLINECA
【关键词】 3D devices; back-end-of-line transistors; field-effect transistors;
【外文期刊】 Alessandro,Grillo ; Zixing,Peng ; 等 《ACS nano》 SCIMEDLINECA
【关键词】 Schottky diodes; back-end-of-line process; graphene?silicon junctions;
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