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【外文期刊】 Changho,Lee ; Jin Young,Kim ; 等 《Micromachines》 2018年9卷11期
【关键词】 MEMS scanning mirror; acoustic delay line; microelectromechanical systems (MEMS);
【外文期刊】 Yeong-Hyeon,Seo ; Kyungmin,Hwang ; 等 《Micromachines》 2019年10卷1期
【关键词】 Lissajous scanning; MEMS mirror; display;
【外文期刊】 Dingkang,Wang ; Connor,Watkins ; 等 《Micromachines》 2020年11卷5期
【关键词】 LiDAR; laser scanning; mems mirror;
【外文期刊】 Huizhen,Yang ; Lingzhe,Tang ; 等 《Micromachines》 2024年16卷1期
【关键词】 MEMS; deformable mirror; extended objects;
【外文期刊】 Laurent,Mollard ; Christel,Dieppedale ; 等 《Sensors (Basel, Switzerland)》 2023年23卷23期 SCIMEDLINE
【关键词】 2D MEMS mirror; Bragg reflector; high optical power management;
【外文期刊】 David L,Dickensheets ; Tianbo,Liu ; 等 《Proceedings of SPIE--the International Society for Optical Engineering》 2019年10931卷
【外文期刊】 Yichen,Liu ; Lihao,Wang ; 等 《Micromachines》 2022年13卷9期
【关键词】 AlScN; LiDAR; Lissajous scanning;
【外文期刊】 Dong,Zheng ; Dingkang,Wang ; 等 《Micromachines》 2020年11卷12期
【关键词】 MEMS mirror; forward-view scanning; lung cell carcinoma;
【外文期刊】 Myeong-Su,Ahn ; Jaehun,Jeon ; 等 《Micromachines》 2021年12卷7期
【关键词】 bimorph thermal actuator; large-area and ultrathin MEMS mirror; silicon rim microstructures;
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