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【外文期刊】 Xin,Meng ; Harrison Sejoon,Kim ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2018年10卷16期 14116-14123页 SCIMEDLINECA
【外文期刊】 Mathias,Franz ; Mahnaz,Safian Jouzdani ; 等 《Beilstein journal of nanotechnology》 2023年14卷 951-963页
【关键词】 PEALD; XPS; atomic layer deposition (ALD);
【外文期刊】 Xin,Meng ; Young-Chul,Byun ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2016年9卷12期 SCIMEDLINE
【关键词】 atomic layer deposition; plasma-enhanced ALD (PEALD); review;
【外文期刊】 Jiazhen,Sheng ; TaeHyun,Hong ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2019年11卷43期 40300-40309页 SCIMEDLINECA
【关键词】 InGaZnO (IGZO); atomic layer deposition (ALD); plasma-enhanced atomic layer deposition (PEALD);
【外文期刊】 Harrison Sejoon,Kim ; Xin,Meng ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2018年10卷51期 44825-44833页 SCIMEDLINECA
【关键词】 atomic layer deposition (ALD); bulk film density; hexachlorodisilane (HCDS);
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