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【外文期刊】 Kyle, Daniel J. T. ; Oikonomou, Antonios ; 等 《Bioinspiration & biomimetics》 2016年11卷4期
【关键词】 biomimetics; fractal micro and nanotopography; implant biocompatibility;
【外文期刊】 Woo-Jae,Kim ; In-Young,Bang ; 等 《Materials (Basel, Switzerland)》 2021年14卷11期 SCIMEDLINE
【关键词】 nitrogen fluoride oxide; nitrogen oxide trifluoride; reactive ion etch;
【外文期刊】 Christine,Browne ; Gil,Garnier ; 等 《Journal of colloid and interface science》 2021年587卷 162-172页 SCIMEDLINECA
【外文期刊】 Michael S,Gerlt ; Nino F,Läubli ; 等 《Micromachines》 2021年12卷5期
【关键词】 deep reactive ion etching; fabrication; high aspect ratio;
【外文期刊】 M L,Brake ; J T P,Pender ; 等 《Journal of research of the National Institute of Standards and Technology》 441-448页
【关键词】 discharge; etch depth; etch rate;
【外文期刊】 Hyeonhee,Roh ; Young Jun,Yoon ; 等 《Nano-micro letters》 2021年14卷1期 24页
【关键词】 Cross-sectional shapes; Deep reactive ion etching; Isotropic etch;
【外文期刊】 Guilherme,Sombrio ; Emerson,Oliveira ; 等 《Micromachines》 2021年12卷5期
【关键词】 III/V semiconductors; etch-depth monitoring; etch-stop indicator layers;
【外文期刊】 Leber, M. ; Bhandari, R. ; 等 《Biomedical microdevices》 2017年19卷3期 SCISCIEMEDLINE
【外文期刊】 Charpin-Nicolle, C. ; Bonvalot, M. ; 等 《Autonomic neuroscience: basic & clinical》 2019年221卷 SCISCIEMEDLINE
【外文期刊】 Li, Yuxiang ; Wang, Fang ; 等 《Autonomic neuroscience: basic & clinical》 2019年222卷 SCISCIEMEDLINE
【关键词】 Cr-doped Sb2Te3; Phase change memory; Reactive ion etching;
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