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【外文期刊】 Kyle, Daniel J. T. ; Oikonomou, Antonios ; 等 《Bioinspiration & biomimetics》 2016年11卷4期
【关键词】 biomimetics; fractal micro and nanotopography; implant biocompatibility;
【外文期刊】 Melissa J,Goodwin ; Cornelis A M,Harteveld ; 等 《Nanotechnology》 2023年34卷22期 SCIMEDLINE
【关键词】 photonic crystals; reactive ion etching; silicon nanophotonics;
【外文期刊】 Houxun,Miao ; Lei,Chen ; 等 《Journal of microelectromechanical systems : a joint IEEE and ASME publication on microstructures, microactuators, microsensors, and microsystems》 2016年25卷5期 963-967页 SCIMEDLINE
【关键词】 Cryogenic silicon etching; deep reactive ion etching; high aspect ratio silicon grating;
【外文期刊】 Kuo,Zhong ; Jiaqi,Li ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2016年8卷16期 10451-8页 SCIMEDLINECA
【外文期刊】 Mariusz,Radtke ; Richard,Nelz ; 等 《Micromachines》 2019年10卷11期
【关键词】 HSQ; electron beam lithography; inductively coupled-reactive ion etching (ICP-RIE);
【外文期刊】 Nguyen,Van Toan ; Masaya,Toda ; 等 《Micromachines》 2016年7卷3期
【关键词】 glass micromachining; glass reflow process; reactive ion etching;
【外文期刊】 Seunghwan,Lee ; Hye-Mi,Kim ; 等 《ACS applied materials & interfaces》 2021年13卷50期 60144-60153页 SCIMEDLINECA
【外文期刊】 Jingjing,Zhang ; Lihui,Yu ; 等 《Nanotechnology》 SCIMEDLINE
【关键词】 Partial sacrificing; Reactive ion etching; Si grasses;
【外文期刊】 Mark D,Huntington ; Clifford J,Engel ; 等 《Angewandte Chemie (International ed. in English)》 2014年53卷31期 8117-21页 SCIMEDLINECA
【关键词】 materials science; nanofolds; nanowrinkles;
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